：一种镍的回收方法（57）申请公布号（43）

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（19）中华人民共和国国家知识产权局： （12）发明专利说明书 （10）申请公开号（43） 申请时间：2012-05-09 （21） 申请编号CN2.6 （22） 申请日期： 2011-10-12 （71） 申请人：上海华力微电子有限公司 地址：上海市浦东新区张江高科技园区高四路568（74） 专利机构：上海新天专利代理有限公司 31213 代理 （51） Int./00（2006.01）/00（2006.01） 权利要求说明 （54） 发明名称一种镍回收方法 （57） 摘要 本发明涉及半导体制造领域， 特别是对镍回收方法，通过将废液加热到羰基镍的分解温度，将羰基镍分解成镍元素和一氧化碳，并且可以通过过滤或再加热方便地回收镍元素。法律地位法律地位法律地位公告日期法律地位信息法律地位2012-05-09公开披露[一种镍回收方法]技术领域本发明涉及一种半导体集成电路及其制造领域，具体涉及一种镍回收方法。背景技术在半导体加工工业中，通常使用集成的低电阻材料来形成自调准硅化物工艺，在半导体器件上形成半导体结构的预定义区域。其中，自取心硅化物工艺是半导体结构的硅区与金属反应形成硅化物区的过程，自取心硅化物可以在半导体结构上选择性地形成，而不必对沉积的硅化物进行图案化或蚀刻，从而形成一些低电阻区。

随着半导体制造的小型化，镍（Ni）在65nm及以下的工艺中通常用于与硅（Si）材料反应，在半导体结构上形成自取准硅化物。其中，镍与硅形成硅化镍后，目前一般用湿法处理残余镍，如本发明内容SC公开了一种镍的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：收集含有羰基镍和乙醇的废液;步骤S2：首次加热废液，将羰基镍分解为镍元素和一氧化碳;步骤S3：过滤回收镍元素或继续第二次加热，乙醇挥发后收集镍元素。上述镍回收方法，其中，步骤S2中第一次加热的温度为43-60。上述镍回收方法，其中，步骤S2中首次加热的时间为30秒至10分钟。上述镍回收方法，其中，在步骤S3中第二次在80-200的温度下加热。步骤S2中首次加热的时间对于上述恢复方法为3010分钟，其中。综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出了一种镍回收方法，通过将废液加热到羰基镍的分解温度，将羰基镍分解为镍元素和一氧化碳，并且可以通过过滤或加热再次方便地回收镍元素。附图说明图。图1是本发明的镍回收方法的工艺示意图。下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明：图1是本发明一种镍回收方法的工艺示意图;如图1所示，本发明有一种镍回收方法：首先回收含有羰基镍和乙醇的废液，对废液进行第一次热处理30秒至10分钟，其温度范围为43-60。

由于羰基镍在43时会分解为镍元素和一氧化碳，而镍元素不溶于乙醇，因此第一次加热后废液不再含有羰基镍，而含有镍元素、一氧化碳和乙醇。其次，由于废液中的固体是镍元素，因此可以通过过滤直接收集镍，也可以将废液第二次加热30秒至10分钟，其温度范围为80-200;由于一氧化碳和乙醇都在高温下挥发，因此剩余的固体是镍。例如，在从硅化镍物候中去除过量镍的方法中，在镍沉积在晶圆表面形成......后进行快速热退火过程请下载完整内容查看