真空镀膜机的高压端，价格是多少？

真空镀膜机的高压端，价格是多少？

这是柱塞水泵的高压侧。 水平的为柱塞，垂直的为进水止回阀和出水止回阀。

后面还有一组驱动部件，即曲轴连杆，未示出。

这不是液压领域的典型油泵。 不能称为轴向柱塞泵。 该产品通常称为三活塞泵。

当然也可以采用水泵或柱塞式超高压水泵来注油。

1：真空镀膜机主要是指需要在较高真空度下进行镀膜的一类，包括很多类型。

包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等。

主要思想是将其分为蒸发和溅射两种。

2：真空镀膜机有三个泵：机械泵（一般为油回转泵）和增压泵，也叫罗茨泵。

、高真空泵（扩散泵或分子泵）

机械泵

它是从大气中起作用的。 机械泵的排气效果还与电机的转速和皮带的松紧有关。

当电机皮带松动、电机转速很慢时，机械泵的排气效果也会变差。

因此，需要定期维护和检查。 机械泵油的密封效果也需要经常检查。 如果油太少的话

如果达不到密封效果，泵内就会漏气，油量过多，会堵塞吸入孔，阻碍吸排气。

一般油位在线下0.5厘米处。

增压泵：

它是一种具有一对双叶或多叶转子同步高速旋转的机械泵。

由于其工作原理与罗茨鼓风机相同，因此也可称为罗茨真空泵。

该泵在100-1Pa压力范围内具有较大的抽速，弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点。

这种泵不能在大气中工作，也不能直接排放大气。 它的作用只是增加进气口和排气口之间的压力差。

其余的都需要机械泵来完成，所以必须配备机械泵作为前级泵。

油扩散泵：机械泵的极限真空只有10-2Pa，达到10-1Pa时，实际抽速仅为理论抽速的1/10。

如果要获得高真空，必须使用油扩散泵。

油扩散泵

使用压力范围为10-1Pa-10-7Pa。它利用气体的扩散现象进行排气。

具有结构简单、操作方便、抽速高（可达10+5升/秒）等特点。

油扩散泵主要由泵壳、喷嘴、导管和加热器组成，其中主要添加扩散泵油（日本型号为D-704#）。

根据喷嘴数量可分为单级泵和多级泵。 当扩散泵的油被电炉加热时，产生的油蒸气提供预压力。

机械泵充当预泵。 当扩散泵油被电炉加热时，产生的油蒸气通过伞形喷嘴沿导管向下喷出。

由于喷嘴外有机械泵提供的1-10-1Pa的真空，所以油蒸气可以喷出一定的距离。

它形成一股流向出气口的射流。 射流最终撞击被冷却水冷却的泵壁并凝结成液体。

它流回蒸发器，蒸发器依靠油的蒸发-喷射-冷凝，反复循环来实现抽气。

运营流程

真空镀膜机的具体操作流程请参阅设备说明书。

以及设备上的仪表盘指针显示以及每个旋钮下方的标签说明。

①检查真空镀膜机各操作控制开关是否处于“关闭”位置。

② 打开主电源开关，给设备通电。

③ 拔出低压阀。 打开充气阀，当不再听到气流声时，启动上升钟阀，钟就会上升。

④ 安装并固定钨丝螺旋加热器。 将PVDF薄膜和铝盖固定在旋转盘上。

将铝线穿入螺旋加热器。 清洗钟罩内各部件，确保无杂质、污垢。

⑤ 降低钟罩。

⑥ 启动真空机械泵。

⑦ 打开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A）。

A。 顺时针转动左旋钮“1”至加热位置（指向第 2 部分）。

b. 低真空表“2”处的指针顺时针移动。 当指针移至110mA时，旋转左侧旋钮“1”指向2段测量位置。

⑧ 当低真空表“2”处的指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀被推入。此时，旋转左侧旋钮“1”指向1段测量位置。

⑨ 打开真空镀膜机内冷却水，启动扩散泵，加热40分钟。

⑩ 拔出低压阀。 重复⑦动作程序一次：转动左下旋钮“1”指向2段测量位置。

低真空表“2”处的指针顺时针移动。 当指针移动到6.7Pa时，高压阀打开（阀杆顺时针旋转）。

？ 当低真空表“2”处指针右移至0.1Pa时，打开真空表灯丝开关。

A。 将发射和零点测量按钮“9”旋转至发射位置。

b. 旋转左下旋钮“1”指向1段测量位置。

？ 旋转发射调节旋钮“4”，使高压真空表“5”中的指针指向5。

？ 旋转发射、调零和测量旋钮“9”，使其指向零点位置。

？ 旋转调零旋钮“10”，使高压真空表“5”中的指针指向0位置。

？ 旋转发射、调零、测量旋钮“9”指向测量位置。

？ 旋转标准调节旋钮“3”，使高压真空表“5”中的指针指向10。

？ 将“乘数”开关按钮“8”旋转至点10-12。 当高压真空表“5”中的指针逆时针向左移动并超过1时，

然后将“倍增器”开关旋钮“8”旋转至点10-3。

？ 当高压真空表“5”处指针逆时针移动超过6.7Pa时，打开工件旋转按钮开关，钟罩内被涂件的PVDF薄膜旋转。

？ 打开蒸发按钮开关。 将电流分支插头插入蒸发电极的分配孔（有孔1、2、3、4，任意孔均可插入）。

？ 用右手转动调压器右手轮，缓慢转动，使压力增大。

A。 通过观察窗观察钨螺旋加热器加热温度的颜色变化。

b. 当钨螺旋加热器的颜色变成黄橙色且铝丝开始熔化时，用左手操作挡板按钮，取下钨螺旋的上挡板。

C。 所有铝线都熔化并蒸发，挡板返回到原来的位置。

d. 用右手转动调节器手轮，使其回到零位。 第一次蒸发工作完成。

21、如果要再次蒸发（为了增加电极金属层的厚度）：拔出电流分支插头，插入另一个电极分布孔。

。 重复？ 操作动作。

22、关闭调节灯丝开关。 关闭高压阀（逆时针转动手柄）。 关闭工件旋转。 关闭蒸发。

转动机械泵旋钮使其指向扩散泵。

23. 拉出低压阀。 钟罩已充气。 充气一段时间。 当没有空气声时，将钟罩升起。

24.钨螺旋加热器中添加铝丝。 更换PVDF膜，另一面朝下（原面已镀铝膜，朝上）。 固定在旋转盘上。

25.钟罩。 打开机械泵。

A。 旋转左下旋钮“1”指向2段测量位置。

b. 当低压真空表“2”中指针顺时针移动至6.7Pa时，低压阀被推入。

C。 旋转左下旋钮“1”指向1段测量位置。

d. 当低压真空表“2”处指针顺时针移动至6.7Pa时，打开高压阀。 转动旋钮“1”指向2段测量位置。

e. 当低压真空表“2”中的指针顺时针移动至指向0.1Pa时，打开调节管灯丝。

F。 重复从 ? 开始的操作。 到 ？。

26、待PVDF膜上铝层蒸发后，依次关闭调节灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。

拉出低压阀。 充气完成后，对钟罩进行充气并升起。 取出工件并清洁钟罩。

A。 放下钟罩。

b. 启动机械泵，泵送3~5分钟，然后停止机械泵。

C。 关闭主电源开关。

d. 1小时后关闭冷却水。 所有操作均已完成。

27、正常生产时，若突然停电，必须立即切断高真空测量。

关闭调节灯丝，拔出高压阀和低压阀。 接到电话后，让机械泵开始工作3~5分钟。

然后转入正常生产。 其原理是将扩散泵油加热至沸腾，汽化的油雾通过喷油嘴向四周喷射。

扩散泵周围有冷却水管或水套，将喷出的油雾冷却液化，并循环至泵底部。

如果上部发烫，说明冷却不好，油会回流到真空室，这是不正常的。

说明散热不好。 原因可能是水压不足或水管堵塞。

变量柱塞泵压力补偿控制A

-20,-95,-95,-95,

-30,-30,-30,-30,

-95,-95,-95,-95,

-20,-20,-20,

-60,-60,-60,

变量柱塞泵复合压力控制D

-95，-95，-95，-95。

-35，-35，-35，-35。

-95，-95，-95，-95。

变量柱塞泵压力补偿控制A（后端口）

-95,-95,-95,V8A1R-20,

-30,-30,-30,-30,

-95,-95,-95,-95,

-20,-20,-20,

-60,-60,-60,

变量柱塞泵复合压力控制D（后油口）

-95，-95，-95，-95。

-35，-35，-35，-35。

-95，-95，-95，-95。

大金柱塞泵VZ100系列型号发布

-10 -10 -10RC -10

-10 -10 -10 -10

-10 -10 -10 -10

-10 -10 -10 -10

-10 -10 -10 -10

-10 -10 -10 -10

PVS变量柱塞泵

PVS-0B-8N3-30，PVS-0B-8N2-30，PVS-0B-8N1-30，PVS-0B-8N0-30，

PVS-1B-16N3-12,PVS-1B-16N2-12,PVS-1B-16N1-12,PVS-1B-16N0-12,

PVS-1B-22N3-12,PVS-1B-22N2-12,PVS-1B-22N1-12,PVS-1B-22N0-12,

PVS-2B-35N3-12，PVS-2B-35N2-12，PVS-2B-35N1-12，PVS-2B-35N0-12，

PVS-2B-45N3-20，PVS-2B-45N2-12，PVS-2B-45N1-12，PVS-2B-45N0-12，

PZS变量柱塞泵

PZS-3B-70N4-10,PZS-3B-70N3-10,PZS-3B-70N1-10,

PZS-4B-100N4-10,PZS-4B-100N3-10,PZS-4B-100N1-10,

PZS-5B-130N4-10,PZS-5B-130N3-10,PZS-5B-130N1-10,

PZS-6B-180N4-10,PZS-6B-180N3-10,PZS-6B-180N1-10,

PZS-6B-220N4-10,PZS-6B-220N3-10,PZS-6B-220N1-10,

PZ负载传感变量柱塞泵

PZ-2B-35E3A-11,PZ-2B-35E2A-11,PZ-2B-35E1A-11,

PZ-2B-45E3A-11，PZ-2B-45E2A-11，PZ-2B-45E1A-11，

PZ-3B-70E3A-10,PZ-3B-70E2A-10,PZ-3B-70E1A-10,

PZ-4B--10,PZ-4B--10,PZ-4B--10,

PZ-5B--10,PZ-5B--10,PZ-5B--10,

PZ-6B--20,PZ-6B--20,PZ-6B--20,

PZ-6B--20,PZ-6B--20,PZ-6B--20,

VDC叶片泵

VDC-1A-1A2-20，VDC-1A-1A3-20，VDC-1A-1A4-20，VDC-1A-1A5-20，

VDC-1A-2A2-20，VDC-1A-2A3-20，

VDC-2A-1A2-20，VDC-2A-1A3-20，VDC-2A-1A4-20，VDC-2A-1A5-20，

VDC-2A-2A2-20，VDC-2A-2A3-20，

VDC-3A-1A2-20，VDC-3A-1A3-20，VDC-3A-1A4-20，VDC-3A-1A5-20，

VDC-1B-1A2-20，VDC-1B-1A3-20，VDC-1B-1A4-20，VDC-1B-1A5-20，

VDC-1B-2A2-20，VDC-1B-2A3-20，

VDC-2B-1A2-20，VDC-2B-1A3-20，VDC-2B-1A4-20，VDC-2B-1A5-20，

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VDC双叶片泵

VDC-11A-2A3-2A3-20，VDC-11A-2A3-1A5-20，

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VDR(13)叶片泵

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VDR-2A-1A1-13，VDR-2A-1A2-13，VDR-2A-1A3-13，

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VDR-2B-1A1-13，VDR-2B-1A2-13，VDR-2B-1A3-13，

VDR(13)双联叶片泵

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VDR(22)叶片泵

VDR-1A-1A2-22，VDR-1A-1A3-22，VDR-1A-1A4-22，VDR-1A-1A5-22，

VDR-1A-2A2-22，VDR-1A-2A3-22，

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VDR-1B-2A2-22，VDR-1B-2A3-22，

VDR(22)双联叶​​片泵

VDR-11A-1A2-1A2-22，VDR-11A-1A2-1A3-22，VDR-11A-1A3-1A3-22，

VDR-11A-2A2-2A2-22，VDR-11A-2A2-2A3-22，VDR-11A-2A3-2A3-22，

VDR-11B-1A2-1A2-22，VDR-11B-1A2-1A3-22，VDR-11B-1A3-1A3-22，

VDR-11B-2A2-2A2-22，VDR-11B-2A2-2A3-22，VDR-11B-2A3-2A3-22，

VDS叶片泵

VDS-0A-1A1-10，VDS-0A-1A2-10，VDS-0A-1A3-10，

VDS-0B-1A1-10，VDS-0B-1A2-10，VDS-0B-1A3-10，

IPH齿轮泵

IPH-2A-3.5-11,IPH-2A-5-11,IPH-2A-6.5-11,IPH-2A-8-11,

IPH-2B-3.5-11,IPH-2B-5-11,IPH-2B-6.5-11,IPH-2B-8-11,

IPH-3A-10-20，IPH-3A-13-20，IPH-3A-16-20，

IPH-3B-10-20，IPH-3B-13-20，IPH-3B-16-20，

IPH-4A-20-20，IPH-4A-25-20，IPH-4A-32-20，

IPH-4B-20-20，IPH-4B-25-20，IPH-4B-32-20，

IPH-5A-40-21，IPH-5A-50-21，IPH-5A-64-21，

IPH-5B-40-11,IPH-5B-50-11,IPH-5B-64-11,

IPH-6A-80-21，IPH-6A-100-21，IPH-6A-125-21，

IPH-6B-80-11，IPH-6B-100-11，IPH-6B-125-11，

IPH齿轮泵组合型

IPH-22B、IPH-23B、IPH-24B、IPH-25B、IPH-26B、

IPH-33B、IPH-34B、IPH-35B、IPH-36B、

IPH-44B、IPH-45B、IPH-46B、

IPH-55B、IPH-56B、

IPH-66B，

IPH-22B-3.5-3.5-11,IPH-22B-3.5-5-11,IPH-22B-3.5-6.5-11,IPH-22B-3.5-8-11,

IPH-22B-5-5-11,IPH-22B-5-6.5-11,IPH-22B-5-8-11,

IPH-22B-6.5-6.5-11,IPH-22B-6.5-8-11,

IPH-22B-8-8-11，

IPH-23B-3.5-10-11,IPH-23B-3.5-13-11,IPH-23B-3.5-16-11,

IPH-23B-5-10-11,IPH-23B-5-13-11,IPH-23B-5-16-11,

IPH-23B-6.5-10-11,IPH-23B-6.5-13-11,IPH-23B-6.5-16-11,

IPH-23B-8-10-11,IPH-23B-8-13-11,IPH-23B-8-16-11,

IPH-24B-3.5-20-11,IPH-24B-3.5-25-11,IPH-24B-3.5-32-11,

IPH-24B-5-20-11,IPH-24B-5-25-11,IPH-24B-5-32-11,

IPH-24B-6.5-20-11,IPH-24B-6.5-25-11,IPH-24B-6.5-32-11,

IPH-24B-8-20-11,IPH-24B-8-25-11,IPH-24B-8-32-11,

IPH-25B-3.5-40-11，IPH-25B-3.5-50-11，IPH-25B-3.5-64-11，

IPH-25B-5-40-11,IPH-25B-5-50-11,IPH-25B-5-64-11,

IPH-25B-6.5-40-11,IPH-25B-6.5-50-11,IPH-25B-6.5-64-11,

IPH-25B-8-40-11,IPH-25B-8-50-11,IPH-25B-8-64-11,

IPH-26B-3.5-80-11，IPH-26B-3.5-100-11，IPH-26B-3.5-125-11，

IPH-26B-5-80-11，IPH-26B-5-100-11，IPH-26B-5-125-11，

IPH-26B-6.5-80-11，IPH-26B-6.5-100-11，IPH-26B-6.5-125-11，

IPH-26B-8-80-11,IPH-26B-8-100-11,IPH-26B-8-125-11,

IPH-33B-10-10-11,IPH-33B-10-13-11,IPH-33B-10-16-11,

IPH-33B-13-13-11,IPH-33B-13-16-11,

IPH-33B-16-16-11，

IPH-34B-10-20-11,IPH-34B-10-25-11,IPH-34B-10-32-11,

IPH-34B-13-20-11,IPH-34B-13-25-11,IPH-34B-13-32-11,

IPH-34B-16-20-11,IPH-34B-16-25-11,IPH-34B-16-32-11,

IPH-35B-10-40-11,IPH-35B-10-50-11,IPH-35B-10-64-11,

IPH-35B-13-40-11,IPH-35B-13-50-11,IPH-35B-13-64-11,

IPH-35B-16-40-11,IPH-35B-16-50-11,IPH-35B-16-64-11,

IPH-36B-10-80-11,IPH-36B-10-100-11,IPH-36B-10-125-11,

IPH-36B-13-80-11，IPH-36B-13-100-11，IPH-36B-13-125-11，

IPH-36B-16-80-11,IPH-36B-16-100-11,IPH-36B-16-125-11,

IPH-44B-20-20-11,IPH-44B-20-25-11,IPH-44B-20-32-11,

IPH-44B-25-25-11,IPH-44B-25-32-11,

IPH-44B-32-32-11，

IPH-45B-20-40-11,IPH-45B-20-50-11,IPH-45B-20-64-11,

IPH-45B-25-40-11,IPH-45B-25-50-11,IPH-45B-25-64-11,

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IPH-46B-32-80-11，IPH-46B-32-100-11，IPH-46B-32-125-11，

IPH-55B-40-40-11,IPH-55B-40-50-11,IPH-55B-40-64-11,

IPH-55B-50-50-11,IPH-55B-50-64-11,

IPH-55B-64-64-11，

IPH-56B-40-80-11,IPH-56B-40-100-11,IPH-56B-40-125-11,

IPH-56B-50-80-11,IPH-56B-50-100-11,IPH-56B-50-125-11,

IPH-56B-64-80-11，IPH-56B-64-100-11，IPH-56B-64-125-11，

IPH-66B-80-80-11,IPH-66B-80-100-11,IPH-66B-80-125-11,

IPH-66B-100-100-11,IPH-66B-100-125-11,

IPH-66B-125-125-11

：V系列柱塞泵-95

：V系列柱塞泵-95

：V系列柱塞泵-95

：V系列柱塞泵-95

：V系列柱塞泵-95

：V系列柱塞泵-9

：V系列柱塞泵-95

：V系列柱塞泵-95

：V系列柱塞泵-95RC

：V系列柱塞泵-95RC

：V系列柱塞泵-30

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：V系列柱塞泵-30

：V系列柱塞泵-30

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