上海华力微电子有限公司：电子芯片行业节水型工业企业的典型示范

上海华力微电子有限公司：电子芯片行业节水型工业企业的典型示范

电子芯片行业节水工业企业

典型示范案例

1. 单位概况

华力微电子股份有限公司（以下简称“华力微”）成立于2010年1月，主要产品包括逻辑电路、混合信号/射频电路、高压电路、系统级芯片、闪存、CMOS图像传感器及硅晶微显示器件等，目前拥有中国大陆首条全自动12英寸集成电路芯片制造生产线。2021年单位产品取水量为6.07立方米/片，小于《上海市用水定额标准（试行）沪水务〔2019〕1408号》中C397电子器件制造中电子芯片（12英寸芯片）6.15立方米/片先进值。此外，2021年，公司工业用水重复利用率为94.9%，工艺用水重复利用率为81.7%，通过落实各项节水措施，日节水量达3000立方米。

企业工厂示意图

2.再生水系统建设

华利威在工厂设计之初就充分考虑节水，通过建设中水回用、梯级用水等水循环系统，不断提高水资源利用效率。

1.无机废水回收系统

无机废水收集后经活性炭吸附TOC及悬浮物，再经阴阳树脂塔去除水中阴阳离子，降低电导率后返回超纯水制备预处理，用于制备超纯水，每日节水1416.7立方米。

无机废水（RCL）回收系统示意图

无机废水（RCL）回收系统装置

（二）有机废水回收系统

有机废水收集后经生物处理去除TOC，采用多介质过滤器去除悬浮物，处理后达到回用要求的废水循环至废水站加药系统、中央废气洗涤塔及冷却塔使用，每日可节约用水约215.3立方米。

有机废水（RCM）回收系统示意图

有机废水（RCM）回收系统装置

（三）一级反渗透浓水回收系统

纯水处理装置在制备生产超纯水过程中，产生大量的一级反渗透浓缩水，将RO浓缩水经反渗透处理工艺收集处理后回用于预处理系统重新制备超纯水，达到提高产水率的目的，日节水量约642立方米。

一级反渗透浓水（Brine-RO）回收系统示意图

一级反渗透浓水（Brine-RO）回收系统装置

3.智能工厂管理

华力微电子将重点用水单位及远传水表纳入动力集控系统FMCS智能管理系统，实现重点设备不间断运行及实时监控，通过对采集数据进行统计分析，实现厂区用水精细化管理，为运行优化控制、节水潜力挖掘提供有力支撑，持续推进水资源节约与循环利用。

4.节水宣传活动

为强化公司员工节水意识，规范员工日常节水行为，动员大家关注水资源，华利威利用多种宣传形式，广泛开展节水宣传：如在公司内网进行“世界水日”、“中国水周”、“全国城市节水宣传周”等主题宣传；利用公司卡通形象“力宝”开设“力宝谈环保”专栏，第一期开展节水专题宣传；在公司各用水处张贴节水标识，提醒员工时刻节约用水。公司全体员工积极配合节水宣传活动，节水意识大大提高，积极争创上海市节水型企业。

1. 单位概况

是高科技电子制造业务骨干企业，主要从事中小尺寸新型显示器件研发、制造和销售。2021年万元产值用水量为3.36立方米/万元，低于《上海市工业节能指南》中4.389立方米/万元的行业标准值。2021年工业用水重复利用率为93.95%，工艺用水重复利用率为92.7%。

2.节水工作

1. 智能水管理系统

公司在原有24块智能水表基础上，建设了智慧用水管理系统，可将公司大用水定额（计划）分解为每栋楼的小用水定额（计划），制定每栋楼的用水KPI，实现用水高效管理，实现公司用水在线监测和动态分析管理，提高公司精细化用水管理水平。同时，公司工作人员不再需要到现场进行低效的人工抄表工作，大大提高了基层工作人员的工作效率。

智能水管理系统

（二）再生水回用

纯水系统有机回收水回用工程于2020年5月竣工，总投资191.5万元，在现有有机回收水箱基础上增加MMF、ACF、保安过滤器、RO装置、加药装置及配套TOC计、PH计等。出水先供冷却塔、排气平台洗涤塔补水，最后将TOC达标水供纯水滤池，替代部分自来水补水。改造完成后，每天可节约自来水约450立方米。

RO装置、冷却塔供水

图形控制屏、排气平台供水

（三）清洗水循环利用

公司对生产线玻璃清洗机产生的废水进行循环利用，该项目分两期完成，一期于2010年完成，扩建纯水系统，二期对生产线用水机进行检查，进一步回收清洗水，于2021年5月完成，每天可节省自来水约700立方米。